【摘 要】
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文献和实验研究表明,复制高质量微光学元件的技术难点在于材料的复制性能,对于最终成型微光学元件的材料还需满足光学、力学性能以及化学稳定性上的要求.该论文针对微光元件
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文献和实验研究表明,复制高质量微光学元件的技术难点在于材料的复制性能,对于最终成型微光学元件的材料还需满足光学、力学性能以及化学稳定性上的要求.该论文针对微光元件分析、探讨了聚合物材料和有机改性硅酸盐材料的光学、力学特性及其相应的复制工艺.众所周知,利用单组分溶胶、凝胶技术由于受到开裂性的限制,单次镀膜膜厚极限通常在1μm左右,难以复制同数量级的微浮雕结构.因此该文通过大量的实验研究,提出了利用溶胶-凝胶合成技术制备出有机改性硅酸盐材料（ORMOSILS--GLYMO-SiO<,2>和MASA-SiO<,2>体系）,它们分别应用于制备块状和薄膜状凝胶.对于MASA-SiO<,2>凝胶体系,材料具有良好的成膜性能及在可见-近红外光区较高的光学透过率.与光敏胶相比,复制出的微光学元件具有激光抗损伤阈值高,表面硬度大,与基板的粘接能力强等优点.
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