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电弧放电法是一种低成本、高性能的光纤传感器制备方法,膨胀辅助放电法则是该技术发展的最新阶段。对尺寸在百微米量级的空心玻璃管进行膨胀辅助放电会发生膨胀效果,进而形成空心薄膜结构,这在制备光纤Fabry-Perot传感器及回音壁模式(Whispery Gallery mode,WGM)微腔传感器方面具有重要价值。针对高灵敏度压强检测需求,本论文通过改进膨胀辅助放电法的关键技术,制备了两种膜层厚度在2μm左右的超薄、对称结构微泡,并通过光纤嵌入微泡方式,获得了一种集成、高灵敏度光纤Fabry-Perot压强传感器;也结合锥形光纤及回音壁微腔特性测试平台,得到了微泡微腔的WGM品质因子特性及压强传感特性。研究内容对发展相关压强传感器具有一定的参考价值。本文完成主要工作如下:理论分析了微泡结构光纤Fabry-Perot压强传感器和微泡WGM微腔的压强检测原理;设计并制备了一种光纤嵌入微泡结构的光纤Fabry-Perot压强传感器,改进了传感器的制备方法,并研究了其压强与温度传感特性,同时结合ANSYS软件对传感器的压强传感特性进行了仿真分析和理论解释;研究微泡WGM微腔制备方法与品质因子、压强传感特性,并结合FDTD软件,分析了微泡尺寸等参数变化对WGM微腔特性的影响。本文的主要成果包括:1.本文实现了一种膜层厚度在2μm量级的光纤Fabry-Perot压强传感器制备与特性分析,发现其压强灵敏度高达164.55pm/KPa,温度灵敏度仅为4pm/℃。表明该传感器在实现高灵敏度压强传感的同时,也具有良好的抗温度干扰能力。2.结合ANSYS软件对上述传感器的高灵敏度压强传感特性进行了理论分析和解释,发现当压强从92KPa增加到100KPa时,微泡端部腔长形变量为0.06pm,腔内残余空气的压强灵敏度为0.01pm/KPa。3.完成了微泡WGM微腔的制备与特性测试,获得了达10~7量级的品质因子特性,并实验分析了其压强传感效果。同时利用FDTD软件研究了微腔参数、耦合距离变化对微腔品质因子特性的影响,解释了上述实验结果。