【摘 要】
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该论文主要包含以下内容:1、简要介绍了与我们的研究内容相关的关于离子与固体相互作用的理论,包括核阻止本领、电子阻止本领和光洁度入离子射程分布和概念和计算方法.给出院
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该论文主要包含以下内容:1、简要介绍了与我们的研究内容相关的关于离子与固体相互作用的理论,包括核阻止本领、电子阻止本领和光洁度入离子射程分布和概念和计算方法.给出院了一种原子移位级联的理论模型和计算方法并说明了注入离子对材料组分的影响.2、在分析已有计算机模拟原子碰撞级联工作的基础上,结合本专业研究工作的需要,编制出一套具有某些特点的MonteCarlo型材料中离子传输和碰撞级联模拟程序.详细介绍了程序所使用的物理模型,在计算散射角度时应用了Magic公式,在计算电子阻止本领时使用与碰撞参数有关的Oenandrobinson公式.该程序可用来考察离子在单晶靶中的射程分布,表面溅射及反冲注入引起的组分再分布,多量子阱界面混合效应等与原子碰撞级联有关的物理现象.三、利用程序对离子注入AlGaInP材料所发生的各种现象进行了模拟研究,得到了某些有益的结果.
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