【摘 要】
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本文研究了化学沉积稀土Co-Fe-B合金薄膜工艺和电化学性能。采用正交实验法设计并验证了化学沉积Co-Fe-B合金工艺的基础配方和最佳配方,考察了镀液电化学性能,镀液各组分对合
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本文研究了化学沉积稀土Co-Fe-B合金薄膜工艺和电化学性能。采用正交实验法设计并验证了化学沉积Co-Fe-B合金工艺的基础配方和最佳配方,考察了镀液电化学性能,镀液各组分对合金沉积速度的影响及合金镀层的组织结构和微观形貌;在化学沉积Co-Fe-B工艺最佳配方基础上添加不同种类稀土元素,考察稀土在镀液中对电化学性能及沉积速度的影响,探讨含稀土Co-Fe-B合金的共沉积机制及稀土对合会镀层工艺、组织结构和性能的作用机理和影响方式,以期获得综合性能优异的化学沉积钴基合金软磁薄膜。结果表明:钴铁离子是以共沉积形式进入镀层的,钴铁离子共沉积的极化度比离子单独沉积小:酒石酸钠浓度增加对氧化还原反应有促进作用,乙二胺浓度的增加,对硼氢化钠氧化的促进作用,对络离子还原反应有阻碍作用,亚硒酸浓度较低时,对还原反应有促进作用,较高时,有阻碍作用,对阳极氧化反应正好作用相反;稀土元素在络合剂和基体材料作用下,析出电位正移;稀土加入镀液中,减小了阴极极化曲线的极化度,提高了沉积速度;成分分析显示稀土元素RE能够进入Co-Fe-B合金镀层,与钴、铁原子发生共沉积,且随RE的溶入量增加,Co含量增加,Fe,B含量减少;稀土的加入使非晶镀层有微晶化趋势,且使镀层组织细小,均匀:稀土元素也使合金镀层显微硬度及耐蚀性得到明显改善;Co-Fe-B合金镀层具有很好的软磁性能,添加适量稀土Ce镀层的软磁性能大大提高。
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