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电沉积技术是制备金属或非金属薄膜常用的方法,它成本低,操作简单,经济有效,在工业技术中受到非常广泛的应用。但是电沉积技术又是一种影响因素多,表面质量缺陷多,沉积机理研究不够透彻的加工方法,在一定程度上也限制了它的发展和应用。为了更好了提高电沉积的效果,必须研究清楚电沉积过程中因素对电沉积效果的影响。本文采用阴极电沉积方法,在两电极体系中制备二氧化钛薄膜,探索阴极电沉积法制备二氧化钛薄膜的机理,讨论电沉积因素对薄膜形貌的影响规律,分析电沉积因素对薄膜裂纹产生和扩展的作用机制,其主要原因是由于阴