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【摘 要】
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衍射光学元件(DOEs)和微机电系统(MEMS)在光子学，电子学，信息科学和生物传感方面有着广泛的应用，并且在近几年成为了研究热点。作为DOEs和MEMS等功能器件必不可少的一部分——微
【机 构】
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中国科学院大学
【出 处】
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中国科学院大学
【发表日期】
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2016年期
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