【摘 要】
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随着电子、超声、微波、信号处理、结构健康监测技术、微机电系统及智能结构研制等高新科技领域的迅速发展,对各种表声波器件(如滤波器、延迟线、振荡器、放大器及卷积器等)
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随着电子、超声、微波、信号处理、结构健康监测技术、微机电系统及智能结构研制等高新科技领域的迅速发展,对各种表声波器件(如滤波器、延迟线、振荡器、放大器及卷积器等)的工作性能指标(机电耦合系数、能量转换效率、工作的可靠性和稳定性等)有愈来愈高的要求.压电换能器因具有制作和使用方法简单、发射和接收灵敏度高及可用频率范围宽等优点,目前在高频表声波器件中,压电换能器几乎是唯一的产生和接受器件.然而,仅靠单一的压电介质实现基片的高性能指标往往是困难的,这就需要借助多种材料的组合,将器件制成层状结构,特别是在基底上覆盖有压电材料薄层的薄膜结构.由于大多数压电器件是在动力学条件下工作的,因而该文对于在上述领域中应用广泛的表声波传感器提出的压电层状理论模型中声表面波的传播行为进行了研究.
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