Cu基、Zr基和Co基金属玻璃的Ar12+离子辅照损伤研究

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金属玻璃因其无序结构有利于抵抗离子辐照诱发的损伤,表现出较好的耐辐照性能而成为近年来的研究热点。高电荷态离子具有的辐照速率快、强度高等优势成为模拟材料辐照损伤的有力手段。本文采用能量为3MeV的高电荷态Ar12+离子辐照金属玻璃(Cu47Zr45A18)98.5Y1.5、Al7.5 Cu17.8Ni10.7Zr64、Co612B26.2Si7.8Ta4.8和多晶金属W,辐照剂量分别为1×1014、1×1015和1×1016ions/cm2。利用XRD、SEM、AFM、椭圆偏振仪和纳米硬度仪等实验手段研究不同剂量的Ar12+离子辐照对金属玻璃和W的结构和性能的影响。同时利用SRIM程序计算Ar离子在材料中的辐照损伤情况。研究结果表明:  SRIM程序模拟计算得到:3MeV的Ar离子在Cu基、Zr基、Co基金属玻璃和金属W中的射程分别为1.25μm、1.29μm、1.19μm和0.77μm;金属玻璃中的能损小于金属W中的能损;金属玻璃和金属W中的dpa的Bragg峰出现在离子射程附近;离子垂直入射Zr基、Co基和Cu基金属玻璃的溅射产额分别为:0.4874、0.4932和0.6460,金属W的溅射产额为0.5678。  不同剂量辐照下三种金属玻璃均保持非晶相是主要结构。三种金属玻璃在低剂量的Ar12+辐照后表面形貌仍然相对平整,当剂量增加到1×1016ions/cm2时,Cu基金属玻璃表面有轻微“波浪形”斑痕产生;Co基金属玻璃表面出现不均匀的白色辐照斑痕和微小凸起。三种金属玻璃的表面均方根粗糙度是随Ar12+剂量的增大而增大。剂量为1×1015ions/cm2时,Cu基和Co基金属玻璃的反射率减低16%和28%。辐照后Cu基和Zr基金属玻璃的硬度随剂量的增加而降低。  金属W在辐照剂量为1×1014ions/cm2时,金属W的表面开始有孔洞生成,且孔洞数量随着辐照剂量增大而增多。剂量为1×1016ions/cm2时,金属W的表面出现了大面积不规则的裂纹和表面缺失,距表面一定深度有裂痕和通道损伤。剂量为1×1015ions/cm2的Ar12+离子辐照后W的反射率减低30%。辐照后金属W的纳米硬度有所增加。  在一定条件下(Cu47Zr45Al8)98.5Y1.5、Al7.5Cu17.8Ni10.7Zr64、Co61.2B26.2Si7.8Ta4.8金属玻璃的抗高电荷态Ar12+离子溅射能力好于金属W。
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