【摘 要】
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高量程微机械压阻式加速度传感器在冲击测试、军用引信中运用相当广泛。高量程加速度传感器往往需要很宽的频带，例如高量程加速度传感器量程可以达到100,000g，灵敏度0.2∽0.4μ
【出 处】
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中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）
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高量程微机械压阻式加速度传感器在冲击测试、军用引信中运用相当广泛。高量程加速度传感器往往需要很宽的频带，例如高量程加速度传感器量程可以达到100,000g，灵敏度0.2∽0.4μV/gv，安装固有频率可以达到MHz量级。 论文首先讨论了MEMS技术及几种常用的MEMS典型器件和本论文要用到的微机械加工技术。 第二章讲述了单晶硅的破坏强度问题，并用微力微位移天平方法进行研究。得出了一些结论，为传感器的研制打下基础。 第三章详细论述了具有双薄板梁岛结构的压阻式加速度传感器芯片的工作原理、分析了器件的静态、动态特性，用ANSYS模拟并进行了优化设计，在此基础上确定了传感器的结构参数。 第四章详细讲述了双薄板梁岛结构压阻式加速度传感器芯片的版图设计、工艺实现以及框架的工艺实现，并进行了工艺的改进。 第五章详细讨论了高量程加速度传感器的静态和动态测试，先后进行了自由落杆实验和Hopkinson杆实验，并在实验中得到了许多很有用的结论，对实验数据进行了处理，得到了比较好的数据。 第六章在根据第五章测试结果中发现的问题，提出了一些改进的方案，对原双薄板梁岛结构进行了改进，在此基础上提出了一种新的结构，新的结构在性能上要比原有结构有了很大的改善。
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