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氧化锌(ZnO)是一种宽禁带Ⅱ-Ⅳ族半导体材料,由于其优良的物性,ZnO功能薄膜在压电、声光、传感器、发光材料等领域有着广阔的应用前景.论文的研究目的是掌握ZnO功能薄膜的磁控溅射制备工艺和结构控制技术,并为其应用潜力的充分发挥奠定实验和理论基础.
氧化锌功能薄膜的制备、性能与应用
【摘 要】
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氧化锌(ZnO)是一种宽禁带Ⅱ-Ⅳ族半导体材料,由于其优良的物性,ZnO功能薄膜在压电、声光、传感器、发光材料等领域有着广阔的应用前景.论文的研究目的是掌握ZnO功能薄膜的磁
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
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中国科学院上海光学精密机械研究所
【发表日期】
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1999年期
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