【摘 要】
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金属氧化物半导体气敏传感器材料广泛应用于污染气体检测。但在低浓度气体检测时仍然会存在着灵敏度低,选择性差,最佳工作温度高及服役时间有限等问题。因此,合成敏感性能高、长
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金属氧化物半导体气敏传感器材料广泛应用于污染气体检测。但在低浓度气体检测时仍然会存在着灵敏度低,选择性差,最佳工作温度高及服役时间有限等问题。因此,合成敏感性能高、长寿命气敏材料,探索材料对气敏性能的影响机制,进而制备稳定性好的器件是现代半导体气体传感器的关键课题。 本文对ZnO进行不同类型的掺杂与改性,制备出ZnO基气敏传感器材料,研究制备的不同材料的气敏性能,探索了传感器的应用等问题。主要内容和结果如下: (1)采用共沉淀法制备CdO-Mn-ZnO,Au-Ni-ZnO,用等离子体制备ZnO纳米棒。分别进行XRD,SEM,XPS等表征。得出Mn和Ni存在于ZnO晶格当中,导致不同程度的晶格畸变。CdO,Au及Zn属于晶格外掺杂,CdO和Au分别提高了材料的酸碱催化性能和表面活性,Zn则引入更多的晶体缺陷。 (2)采用静态测试系统法测量传感器样品的气敏性能(包括灵敏度,选择性,响应回复时间)。结果表明1~2.2mol%Mn-ZnO(1-2.2MZO)和10mol%CdO-1mol%Mn-ZnO(10Cd1MZO)对分别对丙酮和乙醇有良好的选择性。Ni可提高对丙酮的气敏性能,Au作为第二相可以进一步促进此性能。Zn的掺杂引入新的晶体缺陷使乙醇灵敏度提高。 (3)结合所制备传感器,分析论述了传感器材料的应用(包括场效应晶体管传感器,传感器阵列,新型传感器电路)。场效应晶体管大幅度提高对低浓度气体的灵敏度;2.2MZO和10Cd1MZO可以组成一个简易的乙醇-丙酮传感器阵列。通过对于气体报警器的检测,可以确定此装置能够在不同气体浓度的环境状况下快速做出反应,及时发布警报。
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