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随着太阳能光伏电池、LED、平板显示(FPD)等产业的迅速发展,透明导电氧化物薄膜(TCO)也随之壮大、发展起来,其中ZnO：Al(ZAO)透明导电薄膜凭借其优良的光学和电学特性而备受人们关注。与传统的ITO薄膜相比,ZAO薄膜具有原材料丰富、制备工艺简单、成本低廉、无毒、热稳定性好等诸多优点,使其在各领域具有广泛的应用前景,将成为新一代透明导电氧化物薄膜的代表。研究制备工艺,分析工艺参数与薄膜光电特性之间的内在关系,摸索出最佳制备条件,制备出性能优良的ZAO透明导电薄膜具有重要的科学意义和应用价值