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本论文对精密和超精密加工技术中的高精细抛磨工艺进行了理论与实验的研究。通过对磨削机理与磨削变形层形成原理的研究分析后认为：变形层是影响加工表面精度的主要因素，要减小变形层厚度，提高磨削精度，关键在于降低磨削热。本论文提出多磨粒微刃、软弹体、冷态磨削机理，即：抛磨时，减少切削深度，磨粒粒度由粗到细的工艺，能达到提高被抛磨(抛光)表面精度：抛磨与磨削加工机理相同；冷态、小磨削量、柔性磨削不会发生大的磨削热，产生新的变形层。试验研究证实了这一理论分析的正确性，磨削区温度很低，磨削表面温度约40℃～50℃，手可触摸。对于不同材料、不同磨粒粒度、不同设备、抛磨时间，抛磨(抛光)工艺参数各不相同，需要通过试验探索。
在总结了磨削的一般规律和软抛磨的机理基础上，对影响表面精度的三个主要工艺参数：砂纸目数(磨粒刃数)、抛磨速度、磨削力进行了系统的研究试验工作。以工程上常用的四种材料开展试验研究，对Cr12模具钢材料做典型分析。用单一因子试验和多因子一正交试验进行试验、实验数据处理和分析，探索不同的材料的抛磨工艺参数，以便指导在生产实际中的应用。
理论与实验研究结果表明：本文提出的多磨粒微刃、冷态、柔性抛磨理论是正确的。在同等抛磨条件下，多磨粒微刃、冷态、柔性抛磨磨削工艺比普通抛磨工艺可提高表面精度2个等级及以上；磨削速度、磨削力有一个适值范围；加工时选用最佳工艺参数比普通抛磨工艺，能获得理想的表面精度。