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透明导电氧化物薄膜(TCO)是一种广泛应用的光电薄膜，其中SnO2掺In(ITO)薄膜制备工艺成熟，已在工业生产中获得大范围应用。氧化锌掺铝(AZO)薄膜作为一种具有较低电阻率和可见光区高透过率的透明导电氧化物薄膜，因其相较于氧化铟锡(ITO)具有原材料丰富、无毒性、易刻蚀、化学性能稳定等特点，已经作为ITO薄膜的替代而受到广泛的研究与开发。但是目前对AZO薄膜的研究主要集中在基片温度、工作气体成分及气压等工艺参数对沉积薄膜的性能影响上，对激励源的研究也局限于直流源和连续射频源，鲜有脉冲调制射频激励