【摘 要】
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该论文工作的重点就是以获得大面积均匀、高密度、稳定等离子体为目标,对表面波等离子体作了较深入广泛的研究.该论文的篇章结构;第一章 绪言：分别介绍了表面波等离子体源的发
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该论文工作的重点就是以获得大面积均匀、高密度、稳定等离子体为目标,对表面波等离子体作了较深入广泛的研究.该论文的篇章结构;第一章 绪言：分别介绍了表面波等离子体源的发展;平面大面积等离子体发展的背景;平面大面积表面波等离子体的应用前景.第二章 平面大面积表面波等离子体源的设计：自选设计并组建一套平面大面积表面波等离子体源装置.第三章 平面大面积表面波等离子体的参数特性：深入研究、了解表面波等离子体工作原理,熟悉表面波等离子体的各种参数特性.第四章 平面大面积表面波等离子体的参数优化：这章是该论文工作的重点和创新点.在前三章跟踪前人研究的基础上,针对传统表面波等离子体源采用的顶部中心电磁波耦合方式的局限性,优化电磁波的耦合方式,采用全新的边缘槽缝电磁波耦合方式,获得了均匀性、稳定性、再现性都非常良好的高密度等离子体,并且,采用边缘槽缝电磁波耦合方式,可以通过增大电磁波动率轻易增大等离子体面积而不影响等离子体的均匀性.这里的边缘槽缝电磁波耦合方式概念由我们首次提出并初步实现.第五章 柱体大体积表面波等离子体的获得及其参数特性：采用侧面和顶部两套电磁波系统同时激发气体,获得了柱体大体积高密度等离子体（直径：30cm高：40cm）.第六章 表面波等离子体在镀膜中的应用：在我们自行设计组建的这套表面波等离子体源上做了淀积SiO<,2>膜的试验,实验很成功,分别在等离子体中心（r=0cm）和近边缘（r=10cm）同时淀积,获得两块各项XPS参数及厚度都非常接近的SiO<,2>膜,从而在一定程度上证实了此表面波等离子体源已经达到大面积加工处理的实际应用要求.第七章 全文总结.
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