【摘 要】
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本课题以1200线反射式光栅为例进行反射式光栅复制方法的研究和开发,使得复制光栅具有接近母板的性能,又降低光栅制作成本取得价格优势。本文围绕反射式光栅复制方法进行理论
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本课题以1200线反射式光栅为例进行反射式光栅复制方法的研究和开发,使得复制光栅具有接近母板的性能,又降低光栅制作成本取得价格优势。本文围绕反射式光栅复制方法进行理论研究与工艺开发,主要包含以下几个方面内容: 首先,介绍光栅的分类及应用,对光栅的现状和发展趋势进行分析,阐明进行反射式光栅复制方法的研究与开发的重要意义。 其次,对光栅衍射理论进行分析,介绍母板光栅的制作方法和工艺,采用全息刻蚀方法制得母板光栅进行复制。 再次,采用理论和实际相结合的方式开展研究,根据光栅结构对光栅性能的影响,以及国内外文献对光栅复制方法的研究,通过对比分析各种方法的优缺点,用软件模拟分析微观变化的影响大小,开展光栅复制方法的研究和开发,通过实验确定制作方法和工艺参数,解决技术难点,研究和开发出高质量、低成本的反射式光栅复制方法。 经过复制得到的光栅,用扫描电镜和原子粒显微镜进行形貌测试,复制品与母板光栅具有相同的形貌。应用衍射效率测试台测试的结果也与母板光栅相当。用ZYGO进行面形和波前的测试,测试结果也与母板光栅相近。 根据测试结果确定该复制方法可行,通过复制,获得与母板性能基本接近的复制光栅,大大降低成本。
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