小功率极板间放电等离子体发生器的研制

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大气压下产生的等离子体不需要复杂真空系统,减少加工消耗,越来越受到人们的关注。研究大气压等离子体已经成为工业等离子体工程研究中的一个重要方向。本论文简单介绍了有关等离子体的发展和应用,利用一种等离子体发生装置,通过外加的电源电压使空气间隙被击穿,在空气中产生大面积的稳定放电。并利用WGD-8A型组合式多功能光栅光谱仪测出放电的伏安特性曲线和等离子体光谱。电路中串联的限流电阻起着负反馈的作用,可以有效地抑制火花和电弧的形成,以便于稳定放电。文中讨论了输入电源电压,放电电流,氮气、氩气的流量以及碳的加入对放电的影响。放电发生后,若继续增加氮气流量,光谱强度会随着电流的增加而增加,当流量达到某一定值时,光谱强度达到最大值。在同一氮气流量下,光谱随着输入电源电压的增加而增大。放电中加入碳后,光谱强度也明显增加。氮等离子体的放电光谱随着氮气流量的增加而增强,表明随着氮气流量的增加,氮气的分子、原子的电离度都有所增强。在纯氮气中加入氩气也会使氮气的分子、原子的电离度大幅度的增强。本论文通过分析实验结果详细的了解了等离子体发生器的多种性质,为等离子体的工业应用奠定了基础。对以后的研究工作做出猜想,将继续研究有哪些因素对等离子体放电的影响。重视对等离子体放电特性和工业应用的研究,并与激光技术相结合优化等离子体的性能。
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