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本文首先介绍了矩量法的基本概念及基函数和检验函数，其次阐述了矩量法求解线天线电流分布的步骤，研究了互连线上电流各模幅度和传播常数的参数提取，由已知的离散电流值，应用广义函数束(GPOF)法提取互连线上电流各个模的幅度与传播常数，并对互连线上未知电流分布进行了预测。介绍了通孔的机械特性以及通孔的寄生电容和寄生电感，并用准静态法对via结构的过剩电感进行了计算。根据pocklington积分方程计算出通孔结构上的电流分布，并用GPOF法提取via结构上入射波和反射波的幅度，进而得到高速电路中via结构的散射参数。