【摘 要】
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对于VCO来说,最重要的指标之一就是相位噪声,VCO的近端相位噪声可以通过锁相环得到改善,但是VCO的远端噪声则只有通过提高VCO的谐振腔Q值得到改善。对于LC结构的振荡器,电感
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对于VCO来说,最重要的指标之一就是相位噪声,VCO的近端相位噪声可以通过锁相环得到改善,但是VCO的远端噪声则只有通过提高VCO的谐振腔Q值得到改善。对于LC结构的振荡器,电感和电容Q值的提高都对提高VCO相噪有重要意义。从目前的资料来看,在微波频段,BST器件Q值比变容二极管低,而BZN器件和BST器件相比,损耗更低,Q值更高,所以预计BZN材料的变容管可以超过普通的半导体变容二极管的Q值,由此期望VCO相位噪声得到提高。
本文研究了基于BZN薄膜电调变容管的集总元件调谐VCO的宽带和低相噪技术。解决的主要问题有：
1、BZN电容结构的电磁分析和微细加工技术；
2、BZN电容在微带线系统中的测量方法；
3、适用于BZN变容管的X波段VCO的宽带调谐技术和低相噪技术；
4、VCO裸芯片的焊接技术和寄生参数影响因素的分析。
本文完成了MIM结构BZN电容电磁仿真模型的建立,研究了基于TRL校准方法的BZN电容测试平台,采用变容二极管完成了适用于BZN变容管的X波段VCO的设计,在压控调谐范围内,偏离载频100KHz处相位噪声-94.5dBc/Hz@100KHz,偏离载频1UHz处的相位噪声为-115dBc/Hz@1MHz,达到了预定指标,研究了VCO裸芯片的安装技术和寄生参数影响因素的分析,提出了进-步改进的意见。
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