微流体陀螺测控电路研究

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随着集成电路技术的成熟发展,近二十年内产生了一种新型的微机电系统(MEMS)。其中,微型惯性测量单元(MIMU)是MEMS技术的一个重要应用领域,而微流体陀螺仪属于其中的一部分,微流体陀螺的结构简单,它是一个腐蚀的腔体内有一根悬挂的加热丝和四根热敏检测电阻组成。微流体陀螺具有体积小、重量轻、成本低和抗高冲击等独特优点,有着广阔的应用前景。本文主要研究内容包括以下几个方面:1.分析了微流体陀螺的基本原理,结合微流体陀螺的仿真结果,验证了微流体陀螺的工作原理以及影响微流体陀螺灵敏度的因素。2.针对微流体陀螺的特点设计了其外围测量电路。为了提高陀螺仪的测量精度,设计了微流体陀螺仪内部加热电阻的恒温电路,并对此恒温电路建立了仿真模型。3.分别对几种不同结构和类型的微流体陀螺进行试验测试,测试试验结果表明,所设计的外围测试电路和恒温电路是合理的。
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