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本论文研究了微波低介介质陶瓷ZnTiO3 的六方钛铁矿结构和微波介电性能，通过XRD和DTA分析表明，添加MgO稳定了系统的六方钛铁矿结构，避免了预烧温度高于945℃时，ZnTiO3分解成Zn2TiO4和金红石。添加不同含量的MgO生成（Zn1-xMgx）TiO3（x=0.1~0.4）介质材料，由于MgTiO3的烧结温度高达1450℃，提高了整个系统的烧结温度。圆形薄片样品在1MHz下具有优良的介电性能，制成的圆柱形微波介质谐振器在微波下也具有优良的介电性能。同时研究了添加Co2O3对瓷料介电性能的影响。论文还研究了圆柱形介质谐振器热处理前后的微观形貌结构和微波介电性能，得出热处理能使瓷体进一步致密，净化晶界，提高Q值的结论。论文接着探讨了相同直径，不同高度的微波介质谐振器的微波介电性能变化规律，谐振频率f0和高度h的关系，不同直径，相同D/h比的介质谐振器谐振频率f0和Q0值的变化关系，以及相同的瓷料介电常数ε和Q0* f0乘积的变化情况。根据这些变化规律，可以设计使用在中端（4~8GHz）、高端（8~30GHz）频率的微波谐振器的尺寸。经过反复的实验研究，最终获得了具有优良介电性能的中低温烧结（1040℃~1080℃）微波介质材料（Zn1-xMgx）TiO3（x=0.1~0.4），当x=0.3~0.35时，得到具有低介电损耗，低电容量温度系数，高绝缘电阻率的性能，在1MHz下的介电性能为：介电损耗tanδ< 0.6×10-4，绝缘电阻率ρv > 1×1014Ω·CM，介电常数ε= 21.43~22.23，电容量温度系数αc = -13.67ppm/℃= ±30 ppm/℃。制得的圆柱形微波介质谐振器的介电性能为：介电常数ε=18.38~20.90，谐振频率f0 max =11.297Q0*f0 =133748~161203（谐振频率f0 =6~7GHz下测得）， 谐振频率温度系数τf = +1.839 ppm/℃= ±10 ppm/℃。