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太阳能的应用是解决能源与环境问题的有效途径。HIT~(TM)太阳电池虽然诞生的时间不长,但是凭借其廉价高效的巨大优势迅速抢占国际光伏市场,成为目前太阳电池研发及应用领域中最耀眼的一颗新星;多晶硅太阳电池也是未来最有发展潜力的太阳电池之一。本研究工作目标是实现高效非晶硅/晶体硅异质结太阳电池的制备和提高多晶硅太阳电池的效率以及降低生产成本。论文的主要研究内容如下:首先,采用等离子体增强化学气相沉积(PE