【摘 要】
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本文研究了一种新的菲索干涉仪测量大曲率半径光学元件的方法,该方法使用标准平面镜作为参考镜对样品的表面形貌及相关参数进行测量并做误差分析。实验及分析表明,该方法能有
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本文研究了一种新的菲索干涉仪测量大曲率半径光学元件的方法,该方法使用标准平面镜作为参考镜对样品的表面形貌及相关参数进行测量并做误差分析。实验及分析表明,该方法能有效解决大曲率半径光学元件测量中参考镜加工难度大、测量所需空间长、测量精确度不高等传统测量方法带来的问题,是一种有效的非接触、高精度、纳米级大曲率半径光学元件形貌测量方法,具有很高的实用性。在该方法中,先通过菲索干涉测量得到大曲率光学元件的表面形貌,再通过绝对测量法得到参考平面镜表面的绝对形貌,最后对这两个形貌进行处理,得到大曲率半径光学元件表面的绝对面形及相关PV值、RMS值。由于商用干涉仪配套软件不能满足测量分析需求,我们采取商业软件与自编程序相结合的方法,对干涉图进行采集、解包裹、泽尼克多项式分解及重新拟合等操作,并最终以图像与数值相结合的方式表达了最终的测量计算结果。本文除了对大曲率半径光学元件的表面面形进行测量,还对测量过程中的种种误差进行分析,其中包括干涉图校准误差、绝对测量误差、激光干涉仪误差等。通过计算、模拟及相关实验,我们知道其中干涉图校准误差和参考镜的绝对测量误差在大曲率半径光学元件的测量误差中起主要作用。
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