【摘 要】
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硅微机械陀螺具有体积小、结构简单、易于加工、价格便宜、易于集成化等优点.该论文重点进行了振梁式硅微机械陀螺关键技术的研究.利用硅片的解理的特性,确定了(110)硅片(111
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硅微机械陀螺具有体积小、结构简单、易于加工、价格便宜、易于集成化等优点.该论文重点进行了振梁式硅微机械陀螺关键技术的研究.利用硅片的解理的特性,确定了(110)硅片(111)定位面;摸索出了窄间隙深槽腐蚀的工艺条件,研制出长×宽×高=15mm×340μm×360μm的硅梁,其壁光滑、平整,和固定电极间隙为38μm;对硅-玻璃阳极键合和粘接技术进行了研究;完成了振梁式硅微机械陀螺的样品结构的制备和封装.另外,该论文还在上述工艺基础上设计了新的改进工艺,并对其进行了研究.该论文还对振梁式硅微机械陀螺测试技术进行了研究,完成了波形发生器电路、驱动轴固有频率测试电路,并设计制作了该陀螺的角速度输出电路.
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