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微驱动器是微机电系统(Micro Electro Mechanical System, MEMS)的重要组成部分,用于构成其中的驱动或执行单元,担负着微系统内能量转换、运动和力的传递及对系统信息进行响应等功能。而双稳态机构是指在其运动范围内具有两个稳定平衡位置的一种机构,这种机构在其一部分运动过程中存储能量,而当其向另一个稳定平衡位置运动时释放能量。这种机构在受到外界比较小的扰动时会自动回到其稳定平衡位置上,而且这种机构具有无需能量输入且不论有无外界扰动都能位于一个适当平衡位置的特性。本文运用MEMS非硅技术,并基于柔性机械原理将这两种机构单元结合在一起,为实现微继电器打好了基础,此种微继电器有别于传统继电器必须靠电磁力才能开闭的特点,无需外力持续输入即可保持稳态,且具有体积小,加工成本低,工艺可靠等特点。聚合物材料以其热膨胀系数优势成为电热微驱动器的良好驱动介质;金属嵌入式Su-8光刻胶复合材料,能够充分利用聚合物和金属材料各自的特点,并且拥有直接光刻成型的优势。本文在此基础上,对现有的工艺设计和器件本身结构参数设计进行了优化,测试结果表明这样的改进提高了器件性能。同时在制备过程中,本文开发出一套适用于MEMS工艺的Zn牺牲层标准化工艺。本文在自锁定部分,对所设计的结构进行了解析计算分析,以确保与驱动部分集成后的工作可行性。计算结构表明所设计的结构可以被驱动器所驱动,同时能完成双稳态间的转换。在制备过程中,本文依据所设计的结构特点开发出一套适用于MEMS非硅微加工工艺的微铰链制备技术,打破了传统非硅加工工艺的精度限制,使得在非硅领域中制备微小间隙(0.5~3μm)成为可以被实现的技术。测试结果表明,所设计的双稳态结构可以完成两种稳态间的转换。