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宏/微驱动定位平台是实现大行程、高精度精密定位的主要实现方式之一。宏动平台完成系统的粗定位,可以有效提高系统运行速度,扩大系统运动范围;微动系统实现精密补偿定位,可以有效缩短系统的响应时间,提高系统的分辨率和定位精度。两者结合很好的实现了大行程、高速高精度、低成本、大频响的优点。本文建立了一套大行程、高精度的全压电驱动宏微单轴定位平台,由纳米级高精密光栅尺实现宏动系统和微动系统的位置闭环反馈。压电马达驱动宏动平台实现系统粗定位,压电陶瓷驱动的柔性铰链微位移机构实现快速响应和位置误差补偿,