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Spatially Uniformizing of Very High Frequency Plasma for Large Scale Plasma Applications

来源 :上海交通大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sam008

【作 者】

：

NAKAGAWA KENSHO 

【出 处】

：

上海交通大学

【发表日期】

：

2015年2015期

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