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多层SiC涂层C／SiC复合材料（SiC-C／SiC）应用于高性能航空发动机，必须提高抗氧化能力，实现1650℃长寿命使用。涂层裂纹和缺陷是复合材料抗氧化性能差的主要原因。本文采用了物理气相沉积方法和离子注入／沉积方法，以Al、B、Si为改性元素，对SiC涂层表面进行改性，封填裂纹和缺陷；结合扫描电镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和俄歇能谱（AES）分析，研究了改性层对SiC-C／SiC复合材料抗氧化性能的影响。主要内容和结果如下： （1） 真空蒸镀约3um Al膜，涂层裂纹被封填或宽度减小，SiC-C／SiC复合材料在500℃、600℃和700℃模拟空气与氧气中的氧化失重显著降低，失重值较大。 （2） 磁控溅射约3um Si膜，涂层裂纹和缺陷被部分封填，SiC-C／SiC复合材料在1300℃模拟空气中的氧化失重降低。 （3） MEVVA（金属蒸气真空弧等离子）源注入Al，ECR（微波）源PIII（等离子源全方位注入）B(注入剂量约1017cm-2)或Si(注入剂量约1016cm-2)，SiC涂层表面已经非晶化，裂纹仍然存在，缺陷改善不明显。Al的注入，提高了复合材料在1300℃模拟空气中的抗氧化能力，没有改善700℃模拟空气中的抗氧化能力。B的注入提高了复合材料在1200℃和1300℃模拟空气中的抗氧化能力。Si的注入没有显著改善复合材料在1300℃模拟空气中的抗氧化能力。 （4） 注入Si试样真空1600℃退火30min后，SiC涂层表面出现许多新裂纹，1300℃模拟空气中的氧化失重增大。 （5） MEVVA源注入Al再PIID（等离子源全方位沉积）Si涂层，玻璃氧化层厚而均匀，愈合性能好，孔洞少，对涂层缺陷有最佳的改性效果。复合材料在1300℃空气中的氧化失重显著降低，甚至出现增重。