【摘 要】
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该文的研究重点是薄膜的硬度测试方法和对薄膜抗多冲性能的探索.该文对薄膜硬度测试的不同方法进行了详细介绍,比较了各种方法的优缺点及适用场合.认为采用努氏压头的能量分
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该文的研究重点是薄膜的硬度测试方法和对薄膜抗多冲性能的探索.该文对薄膜硬度测试的不同方法进行了详细介绍,比较了各种方法的优缺点及适用场合.认为采用努氏压头的能量分配模型可以有效地将薄膜硬度从膜基复合硬度中分离,从而得到薄膜的本征硬度.这可能是一种更具实用性的薄膜硬度测试方法.此外,该文采用一种新型的薄膜多冲试验机来评定薄膜的抗多次冲击性能,并定性地分析了不同膜基体系在多次冲击载荷作用下的破坏机理.试验证明,在足够的膜基结合强度下,薄膜的破坏主要是由膜内的拉应力造成,属内聚力型.最后,该文探讨了硬度与弹性模量的关系对材料表面抗塑性变形能力的影响.
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