择优取向Pb(Zr0.95Ti0.05)O3铁电薄膜的巨电热效应

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【摘要】

：

为缓解日益严重的环境问题,本试验研究制备了新型无氟制冷材料-富锆PZT电热材料。采用溶胶-凝胶技术在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备出择优取向富锆Pb(Zr0.95Ti0.05)O3薄膜以及稀土镧(La3+)掺杂的PZT铁电薄膜。系统地研究了不同热处理工艺对富锆PZT薄膜取向的影响以及不同择优取向对富锆PZT薄膜电热效应的影响。对富锆PZT薄膜的取向生长机制进行了分析,并对富锆PZT薄膜的取向

【作者】

：

成海涛

【机构】

：

哈尔滨工业大学

【发表日期】

：

2007年07期

【关键词】

：

富锆PZT薄膜择优取向居里温度电热效应

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