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氧化锰(MnO_x)具有比电容高、成本低、对环境无污染等特点,是赝电容超级电容器理想的电极材料。但是MnO_x的电导率和离子扩散率较低,限制了其实际应用。本论文通过飞秒激光刻蚀技术复合化学氧化直接在金属Mn基底上制备具有阵列结构的三维MnO_x(3D-Mn/MnO_x)电极。首先,采用飞秒激光刻蚀技术在Mn基底表面制备三维阵列(3D-Mn);然后,使用H_2O_2将3D-Mn表面氧化成MnO_x纳米颗粒,实现3D-Mn/MnO_x电极的制备。TEM和XPS结果表明,MnO_x由Mn_2O_3和MnO