氧化物半导体纳米纤维的制备及其在气体传感和场效应器件上的应用

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本论文主要包括两方面研究内容:WO3纳米纤维的制备及其气敏特性的研究;In2O3纳米纤维的制备及其在场效应晶体管中的应用。我们利用静电纺丝技术制备了WO3纳米纤维材料,并采用XRD,BET等表征方法对得到的WO3纳米纤维进行了表征。研究了WO3气敏元件对NO2气体的敏感特性。WO3纳米纤维材料表现出良好的灵敏度和快速的响应恢复,在100ppm的NO2气体中灵敏度在115mA的加热电流下可以达到45,响应时间为15s,恢复时间为14s。由于一维半导体氧化物纳米材料在传输电子方面具有独特优势,在场效应晶体管领域具有很好的应用前景,我们制备了一维结构的In2O3纳米纤维,并以其作为有源层材料得到了底栅顶接触的晶体管器件,并对得到的元件进行了系统的特性测试。
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