【摘 要】
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该文第一部分正是以此为出发点,尝试以氮化钛为材料,以氮化钛薄膜的太阳能光谱选择性能为核心,通过不同的工艺手段及实验方法来研究其光学及电学性能.在国内首次采用贵金属掺
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该文第一部分正是以此为出发点,尝试以氮化钛为材料,以氮化钛薄膜的太阳能光谱选择性能为核心,通过不同的工艺手段及实验方法来研究其光学及电学性能.在国内首次采用贵金属掺杂的方法来改善氮化钛薄膜的光学及电学性能.成功地编写了计算薄膜光学常数的计算机应用程序,研究了不同组分的氮化钛薄膜的光学常数与工艺参数的关系.该文第二部分主要探讨的是光学薄膜测量技术的问题.重点放在了薄膜的激光损伤测量与薄膜的弱吸收测量技术的研究上.按照国际上关于薄膜激光损伤的测量标准,在原有的实验设施基础上,以计算机控制为核心,加上一些辅助电路设计,基本实现了一套自动化检测装置.改变了以往操作复杂、费时和耗人力的局面,并且提高了测量数据的可靠性.在弱吸收测量方面,设计出了双光路测量法,排除了探测激光波动给测量带来的噪声;采用光纤为中介进行间接探测,减小了通过电容、电感耦合给测量带来的干扰;在分析噪声来源的基础上,设计出低噪声的光电探测器电路;通过以上的改良措施,最终使总的背景噪声降低一个量级以上,从而提高了测量的灵敏度.
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