【摘 要】
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该论文以不挥发非破坏性读出铁电存储器MFIS为主要研究对象,具有较高的理论意义和实际意义.目前,铁电存储器研究的主要问题集中在以下几个方面:一、新型铁电材料制备及已有铁
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该论文以不挥发非破坏性读出铁电存储器MFIS为主要研究对象,具有较高的理论意义和实际意义.目前,铁电存储器研究的主要问题集中在以下几个方面:一、新型铁电材料制备及已有铁电材料的改性;二、集成铁电电容制备以及与CMOS工艺兼容性问题研究;三、改善MFS结构存储器界面特性的绝缘层制备工艺和特性研究;四、MFIS结构铁电存储器制备和 特性研究.该论文以MFISFET器件制备及其特性分析为中心,围绕上述几个方面的问题展开 实验研究工作,并且取得了一些积极的实验成果.
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