【摘 要】
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柔性铰链可由单一的材料以一体成形的方式制造而成，使系统无滑动的现象产生，从而在结构上形成了一个无接口摩擦的完美机构。因此，在精密定位平台的研发上，为了避免齿隙，粘滞-滑动
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柔性铰链可由单一的材料以一体成形的方式制造而成，使系统无滑动的现象产生，从而在结构上形成了一个无接口摩擦的完美机构。因此，在精密定位平台的研发上，为了避免齿隙，粘滞-滑动等一般传动机构所带来的一系列问题，常采用柔性铰链作为传动机构的主要连结组件。本文探讨一个同时具有三自由度(X、Y方向平移，Z方向旋转)的单层定位平台，通过柔性铰链传递角度与位移，以达到精密定位的目的。在分析的方法上，柔性铰链以梁理沦结合能量法建立一个解析模型，利用其分析结果建立平台的运动方程式，并分别与由ANSYS所建立的有限元模型作比较，对于柔性铰链来说，理论分析与ANSYS分析结果近似；对于平台部分来说，理论分析则与ANSYS分析结果在趋势上是十分吻合的。此外，也可得到平台在特性上拥有高线性、低耦合的稳定结构。
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