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该文深入地对逐场调焦调平控制技术作了研究,在基于硅片CHIP内多点高度视频测量的基础上,导出了调平系统数学模型,提出了调平解耦控制算法.建立了执行光学测量、计算机视频图像采集、调焦调平运动控制等功能的实验装置.实验中,有效地验证了系统的原理、功能及调平耦合控制算法,取得了满意的效果.
0.35μm投影光刻机逐场调焦调平控制技术研究
【摘 要】
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该文深入地对逐场调焦调平控制技术作了研究,在基于硅片CHIP内多点高度视频测量的基础上,导出了调平系统数学模型,提出了调平解耦控制算法.建立了执行光学测量、计算机视频图
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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中国科学院光电技术研究所
【发表日期】
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2000年期
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