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静压气体轴承具有高精度、高速度、高运动分辨率、爬行小、污染少、热稳定好等优点,从而广泛应用于精密测量仪器、超精密加工和微细加工等工程场合。以静压气体止推轴承为基础的静压气体导轨得到快速发展。但是,无论是平面封闭型、圆筒封闭型还是重力平衡型气体导轨都存在着结构复杂,加工难度大等问题。本文采用真空预载荷技术,静压气体止推轴承结构中加入真空腔,不但有效地简化静压气体导轨结构,并且使得导轨的承载特性得到很大提高。本文以环矩形气体轴承和圆盘形气体轴承为例,详细的分析加入真空腔对静压气体轴承承载特性的的