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本文针对“神光-Ⅲ”项目中OM2模块工装过程中微调机构精就位时的要求,对该微调机构的驱动方法选择进行了研究对比分析。该微调机构在微调时的负载要求重,精度要求极高,而且在微调过程中所受的摩擦力极大,很容易产生低速爬行现象,故对微调机构驱动方法的选择有着很大的要求。根据“神光-Ⅲ”项目中OM2光学组件工装过程中微调机构对大负载和高精度的要求,确定了电机丝杠驱动、液压伺服驱动和液压缸精密单元驱动三种驱动方法的方案,并在MATLAB Simulink中对液压伺服控制系统的稳定性进行了仿真分析。然后分析了三种方法在驱动时能达到的驱动精度,从制造误差、装配误差和使用误差三个方面对电机丝杠驱动和液压缸精密单元驱动过程中的传动误差和空程误差进行了分析,从稳态误差和静态误差两个方面对液压控制系统的控制误差进行了分析。针对微调机构在工装时驱动速度小、但是摩擦力却极大的特点,对三种方法在低速驱动时的爬行现象进行了分析,分别提出了丝杠传动和液压缸传动低速爬行的临界速度计算公式,得到了三种方法的临界爬行速度;然后在软件ADAMS和AMESim中建立了三种驱动方法进行OM2组件工装时微调的简化模型,对系统的低速爬行现象进行了仿真,与理论计算的结果进行相互验证。最后对三种驱动方法在不同工况下的驱动特性做了对比分析,通过对不同导向长度、不同驱动质量和不同方向上微调时的驱动精度和低速爬行现象进行分析对比,最后对微调机构采用的驱动方法提出了以下建议:建议在导向长度较短、驱动质量较重的驱动时采用液压缸精密单元驱动;当导向长度较长、驱动质量相对较轻时,建议只在绕y轴转动和z轴平动采用液压缸精密单元驱动,而在其他情况下采用电机丝杠驱动。