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【摘 要】
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本文论述了压电陶瓷的基本工作原理及其特性、驱动方法等,并设计了压电陶瓷迟滞特性的开环测量方案。光学平台的稳定性是一项基本要求,在测量过程中应进一步调整,以及光电接
【发表日期】
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2009年期
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