【摘 要】
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用热压法烧制了双晶衬底,用激光沉积技术制作了同质量的YBCO超导膜,然后通过普通光刻和离子束刻蚀制成双晶结和dc SOUID.研究表明, 制作的双晶结能够很好地表现各种Josephson
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用热压法烧制了双晶衬底,用激光沉积技术制作了同质量的YBCO超导膜,然后通过普通光刻和离子束刻蚀制成双晶结和dc SOUID.研究表明, 制作的双晶结能够很好地表现各种Josephson弱连接效应.作者用光学显微镜、扫描电镜、原子力显微镜和高分辨透射电镜对双晶结及其衬底进行了观察.对双晶结的观察结果与文献相同,即薄膜晶界并没有严格地和衬底晶界吻合,而是大体沿其走向偏离摆动.表明薄膜生长条件对薄膜晶界有很大影响.在不好的双晶衬底晶界上则发现了大小不等的黑斑和孔洞,孔洞为非晶态物质所填充.这些缺陷会对晶界导电性能产生不良影响,其出现与衬底制作工艺尤其是抛光有关.此外发现,在高质量的双晶衬底晶界附近,原子排列极有规则,晶界宽度仅1个纳米左右.用了几种方法试图改善双晶结质量、提高其成品率.
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