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飞行时间二次离子质谱技术(TOF-SIMS)是一种强大的表面分析手段,具有分辨率高、样品处理简单和近乎无损等特点,成为当今最有发展前景的表面分析技术之一。一次离子光学系统是TOF-SIMS仪器重要部件之一,直接决定仪器分析性能,系统结构精密复杂,需调节的参数众多,包含多组离子束偏转板电压、聚焦透镜电压,用以控制离子束的飞行轨迹,使离子束的强度和直径满足实验要求。一次离子光学系统参数设置不合理,会直接导致实验结果出现较大误差甚至无法满足分析要求。本文在北京离子探针中心自主研发的“同位素地质学专用TOF