【摘 要】
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该文首先从系统的角度出发,详细论述了调焦检测技术和调倾检测技术在Z坐标测量系统的应用,并给出了测量装置图.再从离焦误差检测方法出发,分析了各种测量方法的原理,并确定像
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该文首先从系统的角度出发,详细论述了调焦检测技术和调倾检测技术在Z坐标测量系统的应用,并给出了测量装置图.再从离焦误差检测方法出发,分析了各种测量方法的原理,并确定像散法是适合我们测量环境和需求的测量方法.结合四象限光电探测器的检测原理,论述了调焦技术的测量原理并设计了实用的测量光路.为了提高非球曲面的测量精度,该文还分析了任意方位被测面的倾角测量及调整系统,把被测面的相对于入射光的倾斜通过调倾测量系统进行实时调整,时一步提高了系统的测量精度.为了确保聚焦测量系统和倾斜测量系统的测量精度,该文对激光光源、实现光电转化的四象限探测器以及预处理电路中的I/V转化电路和电压放大电路中提高测量精度的因素进行分析,并确定了各种元器件的选择准则,给出了该课题所选用的元器件及其特性参数.最后,该文通过一系列的实验对各分部分的原理和单项性能指标进行了测试和验证,对实验数据进行了分析处理,并就主要的误差源进行了讨论,提出了相应的措施进行抑制和补偿.
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