【摘 要】
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微卫星要求推进器提供μN级推力,故而常规推进器成为微卫星发展的瓶颈。MEMS阵列式胶体推进器具有体积小,比冲高等特点,能够满足微卫星发展需求。本文围绕着阵列式微型胶体推
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微卫星要求推进器提供μN级推力,故而常规推进器成为微卫星发展的瓶颈。MEMS阵列式胶体推进器具有体积小,比冲高等特点,能够满足微卫星发展需求。本文围绕着阵列式微型胶体推进器结构设计展开研究,理论计算与仿真相结合确定微结构基本参数,确定微结构加工工艺;最后详细阐述微结构在真空测试于与常压下的测试情况。论文研究推进器喷射极上电后,电荷的驰豫过程,计算出表面电荷的大小,当液体表面电场力大于液体的表面张力时,液体冲出棱台表面,喷出。基于这一电场模型,建立多JET分析模型,得出伴随着电压的升高,喷头的最强电场从中心转移到毛细管边沿这一结论。最后计算出推进器的推力与比冲,推导出推进器的喷射效率。结合仿真研究延长推进器寿命的方法,发现电化学反应,是工质长时间在高压下工作的必然副反应,选择纯工质与惰性电极在一定时间内保证推进器稳定工作,及时交换电极可以彻底避免电化学反应。电压的施加方式影响着推进器的喷射效率,对地高电压(或正或负)施加于喷头,绝对地电压施加于抽取极具有最高工作效率。根据电场力确定出喷头间距,结合MEMS现有加工水平,设计可行的工艺流程并利用L-edit软件设计版图。在真空与常压条件下分别对推进器进行测试,验证了对其寿命,施加电压方式,多喷,击穿等现象的理论仿真结果,为设计可行的推进器系统打下基础。本论文创新点:1)在设计的过程中首次考虑到喷头间距对推进器喷射的影响,仿真、计算与测试得出喷头的间距必须大于七至八倍的喷头直径,喷头的相互影响才可忽略不计。2)在集成最大的前提下采用栅格式抽取极设计,保证了电场的均匀性、集成性,满足了阵列式推进器对电场的均匀性的要求。3)采用机加工方法制作中间级绝缘层,既保证了玻璃的绝缘性能,又保证了MEMS制作工艺的同步性。
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