【摘 要】
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光聚焦检测技术在光驱的聚焦检测中的成功运用,启发我们将这种技术也用于表面形貌测量中,.聚焦误差检测技术具有很高的分辨力、易于小型化,适用于在线测量,具有良好的应用前
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光聚焦检测技术在光驱的聚焦检测中的成功运用,启发我们将这种技术也用于表面形貌测量中,.聚焦误差检测技术具有很高的分辨力、易于小型化,适用于在线测量,具有良好的应用前景.该文研制的差动像散法光焦点检测系统主是这样一种装置.该检测系统通过像散尘聚焦检测出被测面偏离焦点状况,并形成反映这一状况的电信号即聚焦误差信号.该信号经过伺服处理后驱动聚焦透镜移动,使聚焦透镜重新准确对焦,聚焦适镜移动的距离即反映出表面形貌状况.该文基于差动像散光聚 焦检测方法设计了一套光路系统用来检测表面形貌状况,得到聚焦误差信号;伺服控制系统则对检测出来的聚焦误差信号进行校正、放大和控制;采用音圈电机作为驱动元件来接收伺服系统处理过的误差信号并且驱动电机上的聚焦透镜重新对焦.结果表明,该文提出的测量方法能满足实际设计要求.
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