【摘 要】
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三坐标测量机作为一种现代高效率的精密测量仪器，广泛应用于机械制造业、电子业、汽车业和航空航天等众多行业。而随着微纳米工程技术的快速发展，近年来，国内外都将纳米级精度、
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三坐标测量机作为一种现代高效率的精密测量仪器，广泛应用于机械制造业、电子业、汽车业和航空航天等众多行业。而随着微纳米工程技术的快速发展，近年来，国内外都将纳米级精度、微型化，作为三坐标测量机研制发展的重点。本文以正在研制的新型纳米三坐标测量机为对象，研究和采用现代精度保障理论与技术，如纳米级水平的全误差来源分析与不确定度计算，纳米级精度系统的精度设计与误差分配，高精度误差分离方案研究与误差修正软件编制，系统精度标定等，实现低成本和高精度纳米三坐标测量机的研制任务。本文重点介绍高精度误差分离方案的研究，基于误差分离技术，使用德国SIOS公司的微型纳米级精度的三光束激光干涉仪SP 2000作为高精度的标准量，对正在研制的新型纳米三坐标测量机进行误差分离方案的研究。SP 2000具有同步测量位移量值和角度量值的功能。根据提出的误差分离方法，检定测量机的各单项误差值。对实验测得的误差值，以NI(National Instruments)公司的图形化编程软件LabVIEW 8作为虚拟界面编程平台，基于三次样条函数插值算法，进行一维曲线插值和二维曲面插值拟合。将测量机视为刚体模型，采用运动学建模的方法，进行误差修正。
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