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高速可变狭缝系统是光学投影系统的重要组成部分,通过驱动刀片以限制曝光区域的位置与大小,避免光束对规定曝光场之外的区域曝光。刀片的定位精度与运动精度直接决定了光刻机的曝光均匀性。如何兼顾四个刀片实现高速、高加速度与高精度共面运动是本系统设计的难点。针对以上问题,本文完成了高速可变狭缝机械与控制系统的设计,建立了高速可变狭缝系统的误差传递模型,并对各误差源进行分析,合成刀片总的测量不确定度。根据误差传递模型分析各误差对刀片误差的影响程度,找出影响最大的误差,为系统优化设计做指导。同时对系统的动态误差进行