实时光学薄膜厚度监控系统的研究

• 作 者: 王海峰
• 机 构: 华南理工大学
• 出 处: 华南理工大学
• 发表日期: 2005年期
• 关键词: 光学薄膜 厚度监控 波分复用器 光学材料 光通信

本文介绍的介质薄膜干涉滤光片型波分复用器，是由数十层的光学薄膜所构成的，波分复用器的性能取决于其组成的光学薄膜的光学特性。光学薄膜厚度、膜层均匀性、膜层与膜层之间的间隔层、薄膜材料等都对光学薄膜的光学性能产生影响，光学薄膜厚度影响着光学薄膜的光学性能，因而准确控制薄膜厚度就成为制备光学薄膜的关键。
　　实验室里监控光学薄膜厚度用的CA-6E监控单元，采用了PCL-711B数据采集卡进行数据采集
　　本文所述的实时光学薄膜厚度监控系统是针对现有系统的数据处理能力不足进行改进的，引入高速数据处理芯片DSP(DigitalSignalProcessor)加强数据处理，数据采集卡将采集到的数据实时地传送到DSP，DSP处理完再传回主机进行后续处理。它的主要特色体现在：
　　1.控制软件分为主机端程序和DSP端程序，主机和DSP之间采用读写DSP内存的方式通讯。
　　2.DSP端程序在CCS(CodeCompilerSystem)集成开发环境下实现，编写算法源文件、中断向量表文件，编译器将最终生成算法(.out)文件。
　　3.主机端采用VC++编写主机应用程序主体框架，控制数据采集、调用动态链接库函数初始化DSP、加载算法到DSP程序RAM中、将原始数据和DSP处理过的数据交给MATLAB绘图、同时自动保存数据。
　　4.主机端程序采用多线程、动态存储等软件技术，实现整体控制，而将所有算法处理交给DSP完成。
　　5.实时薄膜厚度监控系统具有很好的扩展性。监控系统的软件设计采用模块化的设计思想，可以对各个模块进行扩展以实现更好的控制。