【摘 要】
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精密和超精密机械制造加工、微电子装备、纳米技术工业装备等技术领域的不断发展,提出了对线位移和角位移的同步高精度测量的要求。单频激光干涉在实现高精度、高分辨率的测量要求的情况下,由于其系统结构相对易于集成、信号处理相对简单等优势而被广泛应用于纳米测量系统中。本课题“三光轴集成式单频激光干涉测量关键技术研究”主要针对超精密量级的线位移、角位移同步测量的关键技术进行研究,包括系统光机结构设计和基于光开关
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精密和超精密机械制造加工、微电子装备、纳米技术工业装备等技术领域的不断发展,提出了对线位移和角位移的同步高精度测量的要求。单频激光干涉在实现高精度、高分辨率的测量要求的情况下,由于其系统结构相对易于集成、信号处理相对简单等优势而被广泛应用于纳米测量系统中。本课题“三光轴集成式单频激光干涉测量关键技术研究”主要针对超精密量级的线位移、角位移同步测量的关键技术进行研究,包括系统光机结构设计和基于光开关的非线性误差校正方法,课题的主要研究工作与结论如下:针对线位移与角位移同步测量的问题,提出了一种三光轴单
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