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SnO2基厚膜气敏传感器已广泛应用于家庭、商业、工业和环保等领域,在易燃、易爆气体以及挥发性有机化合物(VOCs)的报警方面占有主导地位。但是,由于这种气敏传感器的厚膜粉体材料的性能不是很好,从而导致了SnO2基厚膜气敏传感器的灵敏度、选择性和响应-恢复时间等气敏性能不是很理想,尤其是选择性比较差,限制了它们的发展和应用。因此,从制备SnO2纳米粉体入手探索提高SnO2厚膜气敏传感器的气敏性能的研究方法显得至关重要。
遵循气敏粉体材料纳米化以及掺杂优化的发展方向,本文主要进行了掺杂型SnO2气敏材料的研制工作,通过SnO2粉体材料的纳米化、稀土掺杂等工作来提高气敏元件对易燃、易爆以及易挥发气体的灵敏度、选择性,并缩短其响应—恢复时间,改善其气敏性能。
(1)采用溶胶-凝胶法和微波水热法分别制备了SnO2纳米粉体。与溶胶—凝胶法相比,以市售分析纯四氯化锡(SnCl4·5H2O)、尿素(CO(NH2)2)为原料,采用微波水热法制备的SnO2粉体具有良好的分散性和较小的粒度。对所制备粉体进行表征,结果表明:利用微波水热法制备出的Sn(OH)4前驱体,经700℃煅烧后所得粉体的平均粒径小于100nm,且粉体分散性良好,颗粒粒度分布较均匀。
(2)制备了分别掺杂不同量稀土离子Y3+、La3+、Ce3+的SnO2粉体。对所制备粉体进行表征,结果表明:掺杂稀土离子对SnO2晶粒的生长具有一定的抑制作用,SnO2粉体的粒度会随掺杂稀土离子种类与含量的不同而有所改变。其中,掺杂5mol%Y3+,2mol%La3+,5mol%Ce3+后的SnO2粉体平均粒径分别为88nm,90nm,61nm,均小于未进行稀土离子掺杂的SnO2粉体的粒径,且颗粒分布较集中。
(3)以所制备的纯SnO2粉体以及掺杂了不同种类,不同量稀土离子的SnO2粉体为原料,利用传统的厚膜制备工艺制备了SnO2厚膜型气敏传感器,并对器件的气敏性能进行了测试分析,对导致器件气敏性能差异的原因进行了初步的分析与讨论。结果表明:掺杂稀土离子Y3+、La3+、Ce3+均对厚膜气敏传感器的本征电阻以及SnO2粉体材料的气敏性能有一定的影响作用。其中掺杂5mol%Y3+,2mol%La3+,5mol%ce3+的SnO2厚膜气敏传感器较掺杂前的本征电阻都有所降低;掺杂5mol%Y3+以及2mol%La3+的SnO2厚膜气敏传感器对乙醇的灵敏度、选择性以及响应—恢复时间都比纯SnO2有所改善,且掺杂2mol%La3+的SnO2厚膜气敏传感器的最佳工作温度有所降低;掺杂5mol%Ce3+的SnO2厚膜气敏传感器对丙酮表现出较高的灵敏度和选择性,但是最佳工作温度会有所提高。