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该文较系统地开展了采用微制作技术研制微光学元件和微电子元器件，包括折射微透镜元件、场发射微尖端阵列和DAN芯片模版等工作;同时开展了将所研制的折射微透镜元件应用于凝视红外焦平面阵列、线列YBCO高温超导薄膜红外探测器和线列强功率半导体激光器等方面的研究。
微制作技术的研究
【摘 要】
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该文较系统地开展了采用微制作技术研制微光学元件和微电子元器件，包括折射微透镜元件、场发射微尖端阵列和DAN芯片模版等工作;同时开展了将所研制的折射微透镜元件应用于凝视
【机 构】
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华中科技大学
【出 处】
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华中理工大学 华中科技大学
【发表日期】
：
1999年期
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